《微細(xì)加工技術(shù)》雜志創(chuàng)刊于1983年,是國家科委和國家新聞出版署批準(zhǔn),國內(nèi)外公開發(fā)行的中央級(jí)重要科技期刊。
本刊綜述、電子束技術(shù)、離子束技術(shù)、光子束技術(shù)、薄膜技術(shù)、微機(jī)械加工技術(shù)、納米技術(shù)。
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0.1微米電子束曝光機(jī)成像系統(tǒng)的計(jì)算
激光直寫系統(tǒng)制作掩模和器件的工藝
LIGA技術(shù)制作Fresnel波帶片的研究
金屬型場(chǎng)發(fā)射陣列的研究
一種微摩擦力光學(xué)測(cè)試方法
SU-8環(huán)氧樹脂的分離實(shí)驗(yàn)研究
利用等離子體表面預(yù)處理改善光掩模IP膠顯影工藝特性
多層薄膜微結(jié)構(gòu)熱應(yīng)力計(jì)算
脈沖電鍍制備硅基細(xì)晶鎳鐵合金薄膜
PECVD法制備的ZnO薄膜結(jié)晶性能的影響
采用氨化技術(shù)制備成簇生長(zhǎng)的光滑線狀氮化鎵
痕量爆炸物爆燃探測(cè)敏感元件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
新型壓電微噴的研制
硅柵干法刻蝕工藝中腔室表面附著物研究
MEMS微電磁驅(qū)動(dòng)器磨損對(duì)光開關(guān)性能的影響分析
資助課題 | 涉及文獻(xiàn) |
國家自然科學(xué)基金(90307003) | 13 |
山東省自然科學(xué)基金(Y2003G03) | 12 |
國家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃(2003CB716204) | 7 |
國家自然科學(xué)基金(59671051) | 7 |
山東省科技攻關(guān)計(jì)劃(022090105) | 7 |
國家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(2004AA404260) | 5 |
國家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(2003AA404150) | 4 |
國家自然科學(xué)基金(10572078) | 4 |
國家自然科學(xué)基金(50275140) | 4 |
國家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(2003AA404140) | 3 |
資助項(xiàng)目 | 涉及文獻(xiàn) |
國家自然科學(xué)基金 | 256 |
國家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃 | 65 |
國家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃 | 54 |
國家教育部博士點(diǎn)基金 | 17 |
國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放基金 | 15 |
山東省自然科學(xué)基金 | 13 |
中國科學(xué)院知識(shí)創(chuàng)新工程 | 11 |
中國博士后科學(xué)基金 | 10 |
上海市自然科學(xué)基金 | 8 |
中國科學(xué)院知識(shí)創(chuàng)新工程重要方向項(xiàng)目 | 8 |
級(jí)別:省級(jí)期刊
榮譽(yù):中國優(yōu)秀期刊遴選數(shù)據(jù)庫
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