工程教育理念的半導體制造技術(shù)改革

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【摘要】半導體科學是一門近幾十年迅猛發(fā)展起來的重要新興學科，是計算機、通訊技術(shù)、電子技術(shù)、雷達、自動化技術(shù)等信息科學的基礎(chǔ)。半導體制造是半導體工業(yè)的重要分支，是集成電路產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。

【關(guān)鍵詞】CDIO；半導體制造技術(shù)；課程改革；產(chǎn)業(yè)結(jié)合

一、工程教育（CDIO）模式

工程教育是我國高等教育的重要組成部分，在國家工業(yè)化信息化進程中，對獨立完整門類齊全的工業(yè)體系的形成與發(fā)展，有著不可替代的作用。CDIO工程教育模式是近年來國際工程教育改革的最新成果，是以Conceive、Design、Implement、Operate（即構(gòu)思、設(shè)計、實現(xiàn)、運作）一系列從產(chǎn)品研發(fā)到產(chǎn)品運行的產(chǎn)業(yè)周期為載體，讓學生在理論和實踐間過渡，完成自主學習。電子科學與技術(shù)專業(yè)是一個典型的工科專業(yè)，工程性和實踐性非常強，希望通過課程學習使得學生具有以下工程核心能力：（1）具有運用數(shù)學、自然科學及工程知識的能力；（2）具有設(shè)計與開展實驗，分析與解釋數(shù)據(jù)的能力；（3）具有開展工程實踐所需技術(shù)、技巧及使用現(xiàn)代工具的能力；（4）具有設(shè)計工程系統(tǒng)、組件或工藝流程的能力；（5）具有項目管理、有效溝通、領(lǐng)域整合與團隊合作的能力；（6）具有發(fā)掘、分析、應(yīng)用研究成果基于工程教育理念的《半導體制造技術(shù)》課程改革◎潘穎司煒裴雪丹及綜合解決復雜工程問題的能力；（7）培養(yǎng)終身學習的習慣與能力；（8）具有基本工程倫理認知，尊重多元觀點。

二、課程目標與存在的問題

《制造》是面向高校電子科學與技術(shù)專業(yè)的一門工程技術(shù)核心主干課程。本課程主要介紹半導體工藝流程、關(guān)鍵工藝步驟，以及相關(guān)領(lǐng)域的新工藝、新設(shè)備、新技術(shù)，其目標是培養(yǎng)掌握基礎(chǔ)理論，熟悉專業(yè)知識，了解技術(shù)前沿，拓展科技視野，并具有一定工藝設(shè)計、分析解決實際工藝問題的電子科學與技術(shù)領(lǐng)域應(yīng)用型工程創(chuàng)新人才。隨著電子行業(yè)對半導體器件微型化、高頻率、大功率、可靠性等要求的提高，半導體科學近幾十年的迅猛發(fā)展，《制造》內(nèi)容也隨之不斷充實，內(nèi)容繁雜、綜合性強、與實際工藝結(jié)合緊密。在這樣的現(xiàn)實情況下，《制造》課程的教學難度越來越大，主要體現(xiàn)在以下幾個方面（1）教學信息量大、課程學時有限，難以合理安排教學進度；（2）工藝設(shè)備昂貴，課程實踐需求難以滿足；（3）理論知識抽象，與實際工業(yè)聯(lián)系不緊密，學生的積極性和創(chuàng)造性難以提高；（4）課程考核形式單一，難以全面檢查教學成果。課程教學內(nèi)容、方法、考核等一系列問題的背后，根本原因是當前《制造》課程的教學模式不盡合理，教學改革勢在必行。

三、課程建設(shè)思路

《制造》只有32學時，在有限的課時下，教師要指導學生掌握基礎(chǔ)理論，與實際工業(yè)生產(chǎn)流程相結(jié)合，引導學生進行創(chuàng)新性研究，幫助學生將課堂理論知識轉(zhuǎn)化為電路、版圖、工藝等設(shè)計能力?！吨圃臁穬?nèi)容繁雜，難度大，實踐實習難以充分實現(xiàn)，需要教師在教學過程中選擇貼合產(chǎn)業(yè)的教材，突出重要知識點，合理分配學時，緊盯產(chǎn)業(yè)發(fā)展和先進工藝，更多的與產(chǎn)業(yè)實際融合，盡可能讓學生接觸實際制造過程，激發(fā)學生學習興趣，提高學習效果?！吨圃臁飞婕皩I(yè)知識面廣（材料、物理、器件、工藝），緊跟技術(shù)發(fā)展，用簡單的試卷理論考核學生的學習成果不夠全面，課程考核方面也要打破固有的試卷核，避免學生靠死記硬背來應(yīng)付考試，采用多元化的考察方式，考察學生的理論基礎(chǔ)掌握、創(chuàng)新思維能力、團隊協(xié)作能力。課外，要盡量給學生創(chuàng)造與產(chǎn)業(yè)接觸的機會。

四、《半導體制造技術(shù)》課程建設(shè)

1、教材選擇

《制造》與產(chǎn)業(yè)結(jié)合緊密，所以我們目前選用電子工業(yè)出版社由MichaelQiurk編著的《半導體制造技術(shù)》，該教材的特點是：理論扎實，詳細介紹了半導體材料、半導體物理、半導體器件相關(guān)知識點；結(jié)合產(chǎn)業(yè)，突出實際工藝詳細介紹了芯片制造中的關(guān)鍵工藝——理論、生產(chǎn)過程、工藝設(shè)備、質(zhì)量分析等；緊隨發(fā)展，吸收介紹了深亞微米工藝下的先進技術(shù)——槽隔離、平坦化、Cu互聯(lián)等；容易理解，深入淺出，附有大量工藝圖、設(shè)備圖、結(jié)構(gòu)圖，直觀形象。

2、教學內(nèi)容

《制造》課程學時有限，教師在教學過程中需要突出知識重點，授課過程中帶領(lǐng)學生著重學習重點章節(jié)——材料準備、工藝流程、基本工藝操作、先進技術(shù)，對于輔助章節(jié)——化學品、沾污、檢測可以采用簡單介紹、學生課后自主學習的方式進行講授?！吨圃臁废啾扔谄渌娮訉I(yè)基礎(chǔ)課程，最大的特點是產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，教材內(nèi)容更新速度遠遠落后，所以授課教師需要密切關(guān)注產(chǎn)業(yè)發(fā)展，了解新工藝、新技術(shù)、新設(shè)備，讓學生的知識跟隨產(chǎn)業(yè)變化。

3、教學方法

課程教授過程中，希望增加學生的參與度和積極性，同時提高學生的團隊協(xié)作能力，所以采用傳統(tǒng)集中授課與小組作業(yè)相結(jié)合的模式。在集中授課過程中也要注意調(diào)動學生積極性，可以采用如下方式：（1）采用啟發(fā)式教學，以先導課程為基礎(chǔ)，引導學生積極思考；（2）采用問題式教學法，首先提出問題，分析問題的本質(zhì)，探討解決問題的思路，最后給出解決問題的方法。培養(yǎng)學生發(fā)現(xiàn)問題、分析問題和解決問題的能力；（3）采用互動式教學法進行教學，注意調(diào)動學生學習的積極性，加強教師和學生的眼神交流和語言交流；（4）妥善處理教學中的重點和難點，引導學生學會逐步分解解決難點問題。

4、教學手段

傳統(tǒng)教學一般采用板書授課、作業(yè)考察的方式，展現(xiàn)方式死板，考察不全面，現(xiàn)在可以結(jié)合多媒體工具的演示多樣性，完成知識點與實際產(chǎn)業(yè)應(yīng)用的結(jié)合，利用圖像、動畫、視頻等展示和講解復雜的器件結(jié)構(gòu)和工藝過程，給以學生直觀、清楚的展示，提高學生學習興趣，引導學生的工程創(chuàng)新能力。建設(shè)課程網(wǎng)絡(luò)教學平臺，便于學生獲取最新學習資料，利于教師與學生之間的課后溝通，同時教師可觀察學生自主學習進度，適當提醒。

5、考核模式

課程減少考試比重，關(guān)注學生的學習過程，同時增加團隊大作業(yè)，鍛煉學生合作分工、解決問題的能力。

6、課程拓展

利用工藝流程仿真，以及校企合作平臺等方式驗證鞏固課堂學習內(nèi)容，增加學生與產(chǎn)業(yè)接觸。綜上所述，針對《制造》課程的特點以及現(xiàn)有的教學問題，筆者結(jié)合產(chǎn)業(yè)，采用工程教育思路進行教學改進，與傳統(tǒng)模式的對比。

五、結(jié)語

在工程專業(yè)認證的指導思路下，本校電子科學與技術(shù)專業(yè)課程與產(chǎn)業(yè)結(jié)合，開啟工程教育（CDIO）模式改革。經(jīng)過三屆的課程改革實踐，《制造》課程的教學突破了傳統(tǒng)理論“填鴨式”的教學方式，結(jié)合問題教學、互動學習、網(wǎng)絡(luò)教學、產(chǎn)業(yè)結(jié)合等新型教學模式。從教學成果看，學生反映課堂生動有趣，學生學習積極性大大提高，團隊合作、工程解決問題能力有所提高，達到了改革預(yù)期。

作者：潘穎 司煒 裴雪丹 單位：理工大學